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通過(guò)經(jīng)驗判斷、技術(shù)診斷或其他方法調查確定危險源（即危險因素存在于哪個(gè)子系統中），對所需分析系統的生產(chǎn)目的、物料、裝置及設備、工藝過(guò)程、操作條件以及周?chē)h(huán)境等，進(jìn)行充分詳細的了解；根據過(guò)去的經(jīng)驗教訓及同類(lèi)行業(yè)生產(chǎn)中發(fā)生的事故或災害情況，對系統的影響、損壞程度，類(lèi)比判斷所要分析的系統中可能出現的情況，查找能夠造成系統故障、物質(zhì)損失和人員傷害的危險性，分析事故或災害的可能類(lèi)型；

ETA的分析步驟如下：（1）確定初始事件初始事件一般指系統故障、設備失效、工藝異常、人的失誤等，它們都是由事先設想或估計的。確定初始事件一般依靠分析人員的經(jīng)驗和有關(guān)運行、故障、事故統計資料來(lái)確定；對于新開(kāi)發(fā)系統或復雜系統，往往先應用其他分析、評價(jià)方法從分析的因素中選定，再用事件樹(shù)分析方法做進(jìn)一步的重點(diǎn)分析。

判定安全功能：在所研究的系統中包含許多能消除、預防、減弱初始事件影響的安全功能。常見(jiàn)的安全功能有自動(dòng)控制裝置、報警系統、安全裝置、屏蔽裝置和操作人員采取措施等。發(fā)展事件樹(shù)和簡(jiǎn)化事件樹(shù)：從初始事件開(kāi)始，自左向右發(fā)展事件樹(shù)，首先把初始事件一旦發(fā)生時(shí)起作用的安全功能狀態(tài)畫(huà)在上面的分支，不能發(fā)揮安全功能的狀態(tài)畫(huà)在下面的分支。然后依次考慮每種安全功能分支的兩種狀態(tài)，層層分解直至系統發(fā)生事故或故障為止。